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A系列全自動探針臺
產品概要
支持SiC、GaN、GaAs晶圓測試，大功率晶圓測試； 更換Chuck設計，可針對不同晶圓測試； 可與儀器儀表系統進行集成； 可升級高低溫環境測試。
基本信息
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產品型號 |
A12 |
工作環境 |
開放式 |
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電力需求 |
220VAC±10V/50Hz/2.2KW |
操控方式 |
全自動 |
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產品尺寸 |
1660 x 1770 x 1015 mm 1660 x 1700 x 1455 mm |
設備重量 |
1700kg |
應用方向
晶圓測試、各類器件、Wafer等進行I-V、C-V、光信號、RF、1/f噪聲等特性分析、射頻測試等。
技術特點
產品特點
- 高測試精度與測試速度，大大提升產能效益
- 全自動化系統運行，快速安全可靠測試
- 支持單點測試和連續測試
- 綜合控制系統，快速接入儀器測試
- CHUCK高效測試系統，運行速度超300mm/s
- 豐富的軟件自動化測試 ，機械精度精確校準
- 可升級自動wafer厚度測量和ID讀卡
- 內部防震系統裝置，運行更穩定
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技術支持：優河馬